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磁控與離子束復合
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磁控與離子束復合
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磁控離子束復合
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離子束復合
設備用途:磁控與離子束復合系統用于納米級單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜、鐵磁膜和磁性薄膜等的制備。可廣泛應用于半導體、微電子及新材料領域。設備組成:系統主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片水冷加熱公轉臺、
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