欧美大BBBB流白水_春色校园综合人妻AV_成人女人a级毛片免费软件_亚洲AV日韩AV无码污污网站

本公(gong)司代理(li)普(pu)發全部產(chan)品 

一(yi)、A100L/A200L是(shi)緊(jin)湊(cou)型干(gan)泵

用于潔凈制程的整(zheng)體式干泵

具(ju)有緊湊(cou)結構(gou)的(de)(de)潔(jie)凈制程整體(ti)式干泵是(shi)專為(wei)滿足半導體(ti)生產(chan)設施(shi)中的(de)(de)靈活(huo)彈(dan)性(xing)集成要(yao)求而開發的(de)(de)。為(wei)了在(zai)方(fang)(fang)便在(zai)機臺內直接安(an)裝(zhuang)和快速(su)抽(chou)空的(de)(de)設計要(yao)求，用(yong)于潔(jie)凈制程的(de)(de)該系列緊湊(cou)型泵是(shi)裝(zhuang)載互鎖、傳輸(shu)室(shi)以及其(qi)他非(fei)腐蝕性(xing)應用(yong)的(de)(de)解(jie)決方(fang)(fang)案(an)。

針對高氣流(liu)量應用的(de)全新解(jie)決方(fang)案

普(pu)發真空(kong)推向市(shi)(shi)場(chang)的(de)用于高(gao)氣流量應用的(de)全(quan)新200m3/h級(ji)別產品A200L，再次展示出了其(qi)在(zai)整體式(shi)干(gan)泵市(shi)(shi)場(chang)中全(quan)球領導地位。憑借著100m3/h 級(ji)別產品A100L和200m3/h 級(ji)別產品A200L，普(pu)發真空(kong)為一切(qie)潔凈制程(cheng)應用提供(gong)完整的(de)產品種類。

優勢

● 高氣(qi)流量

● 體積(ji)小巧(qiao)

● 裝配優化(hua)

● 購置成(cheng)本低

應用

● 裝載互(hu)鎖和傳(chuan)輸(shu)室(shi)

● 半導體生(sheng)產

● 光伏

引導行(xing)業的整體式干(gan)泵

自從A100L泵(beng)(beng)問(wen)市以來，它(ta)改(gai)變(bian)了半導體行業生(sheng)產設施中泵(beng)(beng)的(de)集成問(wen)題。基于干(gan)式(shi)多(duo)級羅茨泵(beng)(beng)技術，盡管尺寸小(xiao)，整體式(shi)干(gan)泵(beng)(beng)依然(ran)提供了高抽(chou)速和(he)短抽(chou)空(kong)時間(jian)的(de)特點(dian)。如今，整體式(shi)潔凈制程的(de)干(gan)泵(beng)(beng)泵(beng)(beng)是(shi)先進的(de)，且(qie)A100系列在全世界范圍內很(hen)多(duo)300mm半導體工(gong)廠內進行了安(an)裝。

用于裝載互(hu)鎖和傳輸室的整體式干泵

在(zai)諸如裝載(zai)互鎖和傳輸(shu)室等潔(jie)凈制程應用中(zhong)，這些泵(beng)排(pai)除了泵(beng)安裝中(zhong)的(de)真(zhen)空管路影響。通(tong)過使(shi)用整體式干泵(beng)，可(ke)降低真(zhen)空管路安裝、集成(cheng)和調試的(de)成(cheng)本(ben)。該(gai)泵(beng)在(zai)生(sheng)產過程中(zhong)提供可(ke)持續(xu)的(de)杰出性能(neng)(neng)且具有高效(xiao)節能(neng)(neng)的(de)特點。高可(ke)靠性和長期(qi)穩定性使(shi)該(gai)泵(beng)脫穎(ying)而出。

整體(ti)式(shi)干(gan)泵——不僅僅用(yong)于半(ban)導體(ti)行業

該泵(beng)能提供干燥和無塵的(de)潔凈真(zhen)空，整體式(shi)干泵(beng)也為太陽能光電(dian)設備提供上佳解決方案。低(di)(di)噪(zao)音(yin)和低(di)(di)振(zhen)動是該水冷卻系列(lie)的(de)另一優(you)勢。小巧的(de)體積保證了其在大型機臺內集成(cheng)的(de)便(bian)利性。

產品名(ming)稱(cheng)：干式真空泵

二、磁懸浮渦輪分子(zi)泵(beng)

電磁軸(zhou)承(cheng)也(ye)被稱作“主動(dong)式磁懸浮軸(zhou)承(cheng)”，其轉(zhuan)子(zi)位置會(hui)被不間斷的監測和自動(dong)調整，并依靠自動(dong)平(ping)衡補(bu)償(chang)來實現無磨損、低震動(dong)的運行。保證(zheng)轉(zhuan)子(zi)能持續(xu)穩(wen)定的工作。同(tong)時，這樣的軸(zhou)承(cheng)設計也(ye)實現了零維護和無潤(run)滑油。

5軸(zhou)磁懸(xuan)浮渦輪分子泵

技術上的(de)杰作(zuo)

HiPace M和ATH 500 M擁(yong)有5軸磁(ci)軸承(cheng)。利用這種軸承(cheng)技術，轉子 的位(wei)置能(neng)被實時(shi)控制(zhi)。在工作中(zhong)，動平衡裝置會進行自動校(xiao)準，可以極小程度(du)上減輕震(zhen)動和工藝過(guo)程中(zhong)產生的軸承(cheng)位(wei)移(yi)。低能(neng)耗和極低的維(wei)護成本確保了其(qi)極高的性價比。

超(chao)強的兼容性

是否覺得(de)不同(tong)的(de)(de)界面接(jie)(jie)口標(biao)準(zhun)讓您(nin)頭疼不已？我們的(de)(de)磁(ci)懸浮渦(wo)輪分 子(zi)泵能提供(gong)集成化(hua)的(de)(de)電子(zi)驅動裝(zhuang)置供(gong)您(nin)選(xuan)擇，從而滿足各種(zhong)不同(tong)界 面接(jie)(jie)口的(de)(de)連接(jie)(jie)需要。

可靠(kao)

我們ATH M和(he)ATP M系(xi)列(lie)的(de)磁懸浮渦輪分子(zi)(zi)泵(beng)擁有(you)5軸(zhou)磁軸(zhou)轉子(zi)(zi) 監測系(xi)統(tong)和(he)實時(shi)的(de)轉子(zi)(zi)位移(yi)自動修正功(gong)能(neng)。通過(guo)采用(yong)這(zhe)種(zhong)高性(xing)能(neng)的(de) 軸(zhou)承技(ji)術(shu)，我們的(de)泵(beng)不(bu)僅(jin)能(neng)確保長時(shi)間的(de)穩(wen)定性(xing)和(he)可靠性(xing)，同時(shi)運 行時(shi)也非常安靜。此(ci)(ci)系(xi)列(lie)軸(zhou)承技(ji)術(shu)的(de)泵(beng)在半導體、鍍(du)膜和(he)干(gan)蝕刻等 離子(zi)(zi)體過(guo)程(cheng)行業(ye)的(de)高真(zhen)空工藝中具(ju)有(you)標桿(gan)地位，此(ci)(ci)外(wai)也廣泛應用(yong)于 許多其他工業(ye)行業(ye)和(he)研發領域。

產品名稱：半磁浮(fu)渦(wo)輪分子(zi)泵