磁控濺射的數值仿真設計

將(jiang)工(gong)程和(he)工(gong)藝設計(ji)運用計(ji)算(suan)機模擬(ni)，再(zai)現(xian)濺射沉積過程，并將(jiang)設計(ji)的(de)結(jie)果進行顯示和(he)分(fen)析以優化工(gong)程和(he)工(gong)藝設計(ji)。

工(gong)程設(she)計(ji)可(ke)以實現參(can)數化(hua)(hua)設(she)計(ji)：利用(yong)已有的商(shang)業軟件(jian)：Pro／E，UG，Ansys等(deng)進行二次開發。工(gong)藝(yi)設(she)計(ji)是在自行設(she)計(ji)或利用(yong)已有的軟件(jian)上模擬濺射過(guo)程以進行工(gong)藝(yi)分(fen)析和優化(hua)(hua)，并分(fen)析機械結構對工(gong)藝(yi)的影響。

將設(she)計過程開發成(cheng)通用(yong)的設(she)計軟件，實現(xian)機(ji)械結構(工程設(she)計的一部分)三維建模(mo)及(ji)(ji)機(ji)械綜合(he)性能分析，工藝(yi)過程的實時(shi)模(mo)擬及(ji)(ji)電磁場、熱場、粒子(zi)空間分布(bu)等分析，以及(ji)(ji)將仿真模(mo)擬過程的可(ke)視化，供(gong)優化工藝(yi)和機(ji)械結構使用(yong)。

能夠與其它軟(ruan)件(jian)之間的進行(xing)數據(ju)交換。

進一步(bu)的(de)發展(zhan)就(jiu)是將整個設計(ji)(ji)過程從部分設計(ji)(ji)轉移到整體設計(ji)(ji)，大限(xian)度的(de)排(pai)除(chu)人(ren)為因素。開發帶有專家(jia)系(xi)統、參(can)數化設計(ji)(ji)、自動控制(zhi)檢測及遠程操(cao)作等功能的(de)智能軟件系(xi)統。

鍍膜設備的工程設計、鍍膜工藝的設計及二者的計算機數值仿真這三者之間是相輔相成的：鍍膜設備決定鍍膜工藝過程的實現，鍍膜工藝促進鍍膜設備的升級，而高性能的計算機仿真設計給兩者的設計提供了強有力的支持。

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